3-я Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике»

28.10.2012

Гридчин В.А., Чебанов М.А., Черкаев А.С., Васильев В.Ю. Численное моделирование при проектировании высокоточных кремниевых сенсоров давления