Статьи и публикации

О методологии оценки конформности атомно-слоевого осаждения тонких пленок в высокоаспектных наноструктурах

В журнале "Наноиндустрия" (2019, №3-4) опубликована статья Васильева В.Ю."О методологии оценки конформности атомно-слоевого осаждения тонких пленок в высокоаспектных наноструктурах"/Наноиндустрия, 201...
11.07.2019

Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 8.

   В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №6) опубликована статья Васильева В.Ю."Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. ...
27.06.2019

Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Часть 3.

   В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №5) опубликована статья Черепанова А.А., Новикова И.Л., Васильева В.Ю.Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Ч...
19.06.2019

Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Часть 2.

В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №4) опубликована статья Черепанова А.А., Новикова И.Л., Васильева В.Ю. Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Часть 2....
30.04.2019

Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 7.

В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №3) опубликована статья Васильева В.Ю."Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 7. Обоб...
18.04.2019

Особенности разработки высокочастотных ИМС на примере МШУ для приемника ГЛОНАСС/GPS. Часть 2.

В научно-техническом журнале ВАК «Техника радиосвязи» опубликована статья сотрудников ООО «СибИС» "Особенности разработки высокочастотных ИМС на примере МШУ для приемника ГЛОНА...
27.02.2019

Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Часть 1.

В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №1) опубликована статья Черепанова А.А., Новикова И.Л., Васильева В.Ю. Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Часть 1....
14.02.2019

Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 6.

В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №1) опубликована статья Васильева В.Ю. "Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 6...
14.02.2019

Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 5.

  В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2018, №11) опубликована статья Васильева В.Ю. "Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники....
25.12.2018

Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 4.

   В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2018, №10) опубликована статья Васильева В.Ю. "Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной те...
12.11.2018