2-я Международная научно-техническая конференция «Технологии микро- и наноэлектроники в микро- и наносистемной технике»

13.10.2011

Гридчин В.А., Чебанов М.А., Васильев В.Ю., Моделирование влияния технологических факторов на характеристики кремниевого ____