3-й семинар по проблемам химического осаждения из газовой фазы
23.06.2013
Васильев В.Ю. Низкотемпературное осаждение слоев диоксида кремния в условиях суб-атмосферного давления окислением тетраэтоксисилана смесью озон-кислород при последовательно-импульсном напуске реагентов.