Фоточувствительный элемент для сенсора давления с оптической пространственной модуляцией
16.07.2016
Чернов А.С., Гридчин В.А., Самородов А.Л., Хабаров С.П. Фоточувствительный элемент для сенсора давления с оптической пространственной модуляцией / Нано- и микросистемная техника, 2016, т.18, №7, с. 416-423.
В статье приведены результаты исследования фоточувствительного элемента сенсора давленияс оптической пространственной модуляцией содержащего два планарных фотодиода. Исследованы температурные зависимости токов короткого замыкания и обратных токов фотодиодов. Рассмотрены особенности преобразовательной характеристики при дифференциальном включении фотодиодов и показана возможность линеаризации выходного сигнала сенсора. Температурный коэффициент тока короткого замыкания разработанных фотодиодов равенα Iкз=0,0014/⁰С. Увеличение температуры приводит к повышению чувствительностисенсора давленияс оптической пространственной модуляцией.
Скачать PDF