Расчет емкости гребенчатого переменного конденсатора для электростатического вибрационного генератора энергии с учетом краевых эффектов

16.07.2016

Блум К.Е., Остертак Д.И. Расчет емкости гребенчатого переменного конденсатора для электростатического вибрационного генератора энергии с учетом краевых эффектов / Нано- и микросистемная техника, 2016, т.18, №7, с. 424-431.

В работе рассматривается гребенчатая 3D-конструкция переменного конденсатора с изменением площади перекрытия электродов, где подвижный и неподвижный электроды расположены в различных плоскостях, при этом движение подвижного электрода происходит в латеральном направлении. Исследуется возможность увеличения глубины модуляции емкости конденсатора путем изменения размеров его электродов. Показано, что существует оптимальная ширина пальцев электродов w, при которой можно достичь наибольшего отношения Cmax/Cmin. Исследовано влияние межэлектродного зазора gи количества пальцев электродов Nна электрическую емкость. Результаты работы позволяют найти наиболее оптимальную конструкцию исследуемого гребенчатого переменного конденсатора.

Скачать PDF