Расчет емкости гребенчатого переменного конденсатора для электростатического вибрационного генератора энергии с учетом краевых эффектов
16.07.2016

В работе рассматривается гребенчатая 3D-конструкция переменного конденсатора с изменением площади перекрытия электродов, где подвижный и неподвижный электроды расположены в различных плоскостях, при этом движение подвижного электрода происходит в латеральном направлении. Исследуется возможность увеличения глубины модуляции емкости конденсатора путем изменения размеров его электродов. Показано, что существует оптимальная ширина пальцев электродов w, при которой можно достичь наибольшего отношения Cmax/Cmin. Исследовано влияние межэлектродного зазора gи количества пальцев электродов Nна электрическую емкость. Результаты работы позволяют найти наиболее оптимальную конструкцию исследуемого гребенчатого переменного конденсатора.

Блум К.Е., Остертак Д.И. Расчет емкости гребенчатого переменного конденсатора для электростатического вибрационного генератора энергии с учетом краевых эффектов// Нано- и микросистемная техника, 2016, т.18, №7, с. 424-431.