Сверхтонкие пленки металлов платиновой группы для применения в нано- и микротехнологиях

16.07.2016

Васильев В.Ю. Сверхтонкие пленки металлов платиновой группы для применения в нано- и микротехнологиях / Нано- и микросистемная техника, 2016, т.18, №7, с. 454-464.

Рассмотрена совокупность вопросов получения методами осаждения из газовой фазы сверхтонких проводящих пленок металлов платиновой группы (Ru, Rh, Pd, Os, Ir, Pt) для их применения в нано- и микротехнологиях. Показано, что ключевым фактором роста сплошных пленок с хорошей электропроводностью является нуклеация пленок на первых этапах их формирования. Проанализированы особенности применения озона в качестве второго реагента процессов осаждения. Проанализированы направления дальнейших исследований, в том числе необходимость изучения поверхностных процессов на первых этапах атомно-слоевого осаждения пленок металлов.

 Скачать PDF