Конформность роста тонких слоев из газовой фазы на рельефных микро- и наноструктурах. Часть 1. Проблематика и методология оценки роста слоев на рельефах

30.07.2020

Васильев В.Ю. Конформность роста тонких слоев из газовой фазы на рельефных микро- и наноструктурах. Часть 1. Проблематика и методология оценки роста слоев на рельефах / Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника, 2020, вып. 2 (178), С.16-25.

Выполнен обзор информационных источников по результатам многолетних исследований проблемы конформности роста тонких слоев неорганических материалов на рельефных полупроводниковых подложках при химическом осаждении из газовой фазы. В первой части рассматриваются общие вопросы, исторический аспект проблемы, методология анализа конформности.

Скачать PDF

DOI: 10.7868/S2410993220020037