Конформность роста тонких слоев из газовой фазы на рельефных микро- и наноструктурах. Часть 2. Процессы химического осаждения из газовой фазы

30.12.2019

Васильев В.Ю. Конформность роста тонких слоев из газовой фазы на рельефных микро- и наноструктурах. Часть  2. Процессы химического осаждения из газовой фазы / Электронная техника. Серия 3. Микроэлектроника, 2020, вып. 3 (179), С.16-25.

Выполнен обзор информационных источников по результатам многолетних исследований проблемы конформности роста тонких слоев неорганических материалов на рельефных полупроводниковых подложках при химическом осаждении из газовой фазы. Во второй части рассматривается количественный подход автора к оценке конформности роста тонких слоев на рельефах на основании исследований кинетики их роста.

Скачать PDF

DOI: 10.7868/S2410993220030033