Моделирование влияния конструктивно-технологических параметров на характеристики кремниевых резонансных сенсоров давления

14.02.2012

Гридчин В.А., Чебанов М. А., Васильев В.Ю. Моделирование влияния конструктивно-технологических параметров на характеристики кремниевых резонансных сенсоров давления / Известия вузов. Электроника, 2012, №2 (94), с.61-66.

Рассмотрены вариационный и конечно-элементный методы расчета частотных характеристик резонансных сенсоров давления (РСД). В результате моделирования установлено существенное влияние двугранных углов в областях сопряжения балочки резонатора с упругим элементом РСД на его характеристики. Дана оценка степени влияния технологического разброса геометрических параметров балочки резонатора на частотные характеристики РСД.

Скачать PDF