Статьи и публикации

Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида кремния для микро- и наноэлектроники. Часть 2

Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида кремния для микро- и наноэлектроники. Часть 2. Процессы с силанами, цианатами, хлорсиланами, кислородсодержащими реагентами. В.Ю. Васильев Рассмотрены
23.03.2020

Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида кремния для микро- и наноэлектроники. Часть 1.

Атомно-слоевое осаждение тонких пленок диоксида кремния для микро- и наноэлектроники. Часть 1. Постановка задач, методология осаждения пленок В.Ю. Васильев Выполнен обзор информационных источников с
23.03.2020

О методологии оценки конформности атомно-слоевого осаждения тонких пленок в высокоаспектных наноструктурах

В журнале "Наноиндустрия" (2019, №3-4) опубликована статья Васильева В.Ю."О методологии оценки конформности атомно-слоевого осаждения тонких пленок в высокоаспектных наноструктурах"/Наноиндустрия, 201
11.07.2019

Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 8.

   В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №6) опубликована статья Васильева В.Ю."Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники.
27.06.2019

Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Часть 3.

   В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №5) опубликована статья Черепанова А.А., Новикова И.Л., Васильева В.Ю.Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Ч
19.06.2019

Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Часть 2.

В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №4) опубликована статья Черепанова А.А., Новикова И.Л., Васильева В.Ю. Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Часть 2.
30.04.2019

Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 7.

В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №3) опубликована статья Васильева В.Ю."Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 7. Обоб
18.04.2019

Особенности разработки высокочастотных ИМС на примере МШУ для приемника ГЛОНАСС/GPS. Часть 2.

В научно-техническом журнале ВАК «Техника радиосвязи» опубликована статья сотрудников ООО «СибИС» "Особенности разработки высокочастотных ИМС на примере МШУ для приемника ГЛОНА
27.02.2019

Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Часть 1.

В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №1) опубликована статья Черепанова А.А., Новикова И.Л., Васильева В.Ю. Считывающая электроника для СКВИД-магнетометров постоянного тока. Часть 1.
14.02.2019

Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 6.

В журнале "Нано- и микросистемная техника" (2019, №1) опубликована статья Васильева В.Ю. "Технологии получения тонких пленок нитрида кремния для микроэлектроники и микросистемной техники. Часть 6
14.02.2019