Статьи и публикации
Низкотемпературное осаждение из газовой фазы при субатмосферном давлении слоев диоксида кремния окислением тетраэтоксисилана смесью озон-кислород для применения в субмикронных интегральных микросхемах (Часть 2)
Рассмотрены результаты исследований и разработки процессов низкотемпературного осаждения из газовой фазы при субатмосферном давлении слоёв диоксида кремния окислением тетраэтоксисилана смесью озон- ки...
Источники вторичного электропитания с «мягкой» коммутацией силовых ключей
В настоящей монографии собраны результаты многолетней деятельности по исследованию и разработке AC/DC источников вторичного электропитания (ИВЭП), выполненных по технологии «мягкой» коммут...
Borophosphosilicate Glass Thin Films in Electronics
This comprehensive monograph summarizes the 30-year studies of borophosphosilicate glass (BPSG) thin film used in electronic technologies, including the authors personal experience with the film depos...
Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей (Часть 1)
Целью работы является разработка источников вторичного электропитания мощностью 2000 Вт, реализующих технологию «мягкой» коммутации Zero Voltage Switch (ZVS). Работа состоит из нескольких ...
Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей (Часть 2)
Целью работы является разработка источников вторичного электропитания мощностью 2000 Вт с использованием технологии «мягкой коммутации» Zero Voltage Switch (ZVS). Работа состоит из несколь...
Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей (Часть 3)
Целью работы является разработка источников вторичного электропитания мощностью 2000 Вт, реализующих технологию «мягкой коммутации» Zero Voltage Switch (ZVS). Работа состоит из нескольких ...
Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей (Часть 4)
Целью работы является разработка источников вторичного электропитания мощностью 2000 Вт, реализующих технологию «мягкой коммутации» Zero Voltage Switch (ZVS). Работа состоит из нескольких ...
Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей (Часть 5)
Целью работы является разработка источников вторичного электропитания мощностью 2000 Вт и выше, реализующих технологию «мягкой» коммутации при нуле или близком к нулю напряжении на ключе (...
Низкотемпературное осаждение из газовой фазы при субатмосферном давлении слоев диоксида кремния окислением тетраэтоксисилана смесью озон-кислород для применения в субмикронных интегральных микросхемах (Часть 1)
Рассмотрены результаты исследований и разработки процессов низкотемпературного осаждения из газовой фазы при субатмосферном давлении слоёв диоксида кремния окислением тетраэтоксисилана смесью озон-кис...
Влияние термических деформаций на температурную стабильность характеристик кремниевых резонансных сенсоров давления»
Simulation results of thermal strain influence on the frequency characteristics of the resonant pressure sensor (RTS) have been presented. A strong dependence of resonance frequency temperature sensit...