Статьи и публикации

In/out pad electrostatic discharge protection for sub-micron integrated circuits based on lateral bipolar transistor

Karpovich, M.S., Pichugin, I.V., Vasilyev, V.Yu. In/out pad electrostatic discharge protection for sub-micron integrated circuits based on lateral bipolar transistor / 16th International Conference of
29.06.2015

Viscous damping influence on dynamic characteristics in MEMS variable capacitor

Blum K.E., Ostertak D.I. Viscous damping influence on dynamic characteristics in MEMS variable capacitor / 16th International Conference of Young Specialists on Micro/Nanotechnologies and Electron Dev
29.06.2015

Evaluation of Low Temperature TEOS-Ozone Silicon Dioxide Thin Film CVD under Sub-Atmospheric Pressure Using Consecutively Pulsed Reactant Injection

Vasilyev V. Yu. Evaluation of Low Temperature TEOS-Ozone Silicon Dioxide Thin Film CVD under Sub-Atmospheric Pressure Using Consecutively Pulsed Reactant Injection / ECS Journal of Solid State Science
26.11.2014

Thin Film Chemical Vapor Deposition in Integrated Circuit Technology: Equipment, Methodology and Thin Film Growth Experience

Монография. Vasilyev V.Yu. Thin Film Chemical Vapor Deposition in Integrated Circuit Technology: Equipment, Methodology and Thin Film Growth Experience / Nova Science Publishers, Inc., 2013, p.p.
15.09.2014

Chemical vapour-phase deposition of ruthenium-containing thin films

Васильев В.Ю., Морозова Н.Б., Игуменов И.К. Осаждение рутенийсодержащих тонких пленок из газовой фазы / Успехи химии, 2014, Т.83, №8, с.758-782. Рассмотрены химические и материаловедческие
25.08.2014

Антенны интегрального СВЧ локатора малой дистанции

Перов В.В. Антенны интегрального СВЧ локатора малой дистанции / Электронная техника. Серия 1. СВЧ-техника, 2014. Вып.3 (522), с.55-60. Рассматриваются конструкции двух малогабаритных антенн круговой
18.09.2014

Интегральная микросхема драйвера «мягкой» коммутации силовых ключей для мощных источников электропитания

Антонов А.А., Карпович М.С., Пичугин И.В., Курленко А.А., Васильев В.Ю. Интегральная микросхема драйвера «мягкой» коммутации силовых ключей для мощных источников электропитания / Нано- и м
20.06.2014

Низкотемпературное осаждение из газовой фазы при субатмосферном давлении слоев диоксида кремния окислением тетраэтоксисилана смесью озон-кислород для применения в субмикронных интегральных микросхемах. Часть 2.

Васильев В.Ю. Низкотемпературное осаждение из газовой фазы при субатмосферном давлении слоев диоксида кремния окислением тетраэтоксисилана смесью озон-кислород для применения в субмикронных интегральн
20.03.2014

Источники вторичного электропитания с «мягкой» коммутацией силовых ключей

Монография. Источники вторичного электропитания с «мягкой» коммутацией силовых ключей / Под ред. Ю.Д. Козляева, 2014, изд-во СО РАН, г. Новосибирск В настоящей монографии собраны рез
20.05.2014

Borophosphosilicate Glass Thin Films in Electronics

Монография. Vasilyev V.Yu. Borophosphosilicate Glass Thin Films in Electronics / Nova Science Publishers, Inc., 2013, p.p.1-243. This comprehensive monograph summarizes the 30-year studies of bo
15.07.2013