Статьи и публикации
Evaluation of Low Temperature TEOS-Ozone Silicon Dioxide Thin Film CVD under Sub-Atmospheric Pressure Using Consecutively Pulsed Reactant Injection
New approach for sub-atmospheric pressure silicon dioxide thin film deposition process at consecutively pulsed injection of tetraethylorthosilicate (TEOS) and ozone is presented. The study was perform...
Thin Film Chemical Vapor Deposition in Integrated Circuit Technology: Equipment, Methodology and Thin Film Growth Research Experience
This monograph is a summary of equipment, methodology and thin film growth experience obtained by the author during his 30 years of research work in the field of Integrated Circuit (IC) device technol...
Chemical vapour-phase deposition of ruthenium-containing thin films
Chemical and materials science aspects of formation of ruthenium-containing thin films for modern high-precision technologies by chemical vapour deposition (CVD) methods are considered. Chemical appro...
Антенны интегрального СВЧ локатора малой дистанции
Рассматриваются конструкции двух малогабаритных антенн круговой поляризации для СВЧ-локатора малой дистанции: спиральная антенна с объёмным ступенчатым экраном и сдвоенная patch-антенна с противополож...
Интегральная микросхема драйвера «мягкой» коммутации силовых ключей для мощных источников электропитания
Представлены результаты макетирования, моделирования и конструирования топологии тестовой интегральной микросхемы драйвера "мягкой" коммутации силовых ключей Zero Voltage Switch, предназначенной для п...
Низкотемпературное осаждение из газовой фазы при субатмосферном давлении слоев диоксида кремния окислением тетраэтоксисилана смесью озон-кислород для применения в субмикронных интегральных микросхемах (Часть 2)
Рассмотрены результаты исследований и разработки процессов низкотемпературного осаждения из газовой фазы при субатмосферном давлении слоёв диоксида кремния окислением тетраэтоксисилана смесью озон- ки...
Источники вторичного электропитания с «мягкой» коммутацией силовых ключей
В настоящей монографии собраны результаты многолетней деятельности по исследованию и разработке AC/DC источников вторичного электропитания (ИВЭП), выполненных по технологии «мягкой» коммут...
Borophosphosilicate Glass Thin Films in Electronics
This comprehensive monograph summarizes the 30-year studies of borophosphosilicate glass (BPSG) thin film used in electronic technologies, including the authors personal experience with the film depos...
Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей (Часть 1)
Целью работы является разработка источников вторичного электропитания мощностью 2000 Вт, реализующих технологию «мягкой» коммутации Zero Voltage Switch (ZVS). Работа состоит из нескольких ...
Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей (Часть 2)
Целью работы является разработка источников вторичного электропитания мощностью 2000 Вт с использованием технологии «мягкой коммутации» Zero Voltage Switch (ZVS). Работа состоит из несколь...