Статьи и публикации

Thin Film Chemical Vapor Deposition in Integrated Circuit Technology: Equipment, Methodology and Thin Film Growth Research Experience

This monograph is a summary of equipment, methodology and thin film growth experience obtained by the author during his 30 years of research work in the field of Integrated Circuit (IC) device technol...
15.09.2014

Chemical vapour-phase deposition of ruthenium-containing thin films

Chemical and materials science aspects of formation of ruthenium-containing thin films for modern high-precision technologies by chemical vapour deposition (CVD) methods are considered. Chemical appro...
25.08.2014

Антенны интегрального СВЧ локатора малой дистанции

Рассматриваются конструкции двух малогабаритных антенн круговой поляризации для СВЧ-локатора малой дистанции: спиральная антенна с объёмным ступенчатым экраном и сдвоенная patch-антенна с противополож...
18.09.2014

Интегральная микросхема драйвера «мягкой» коммутации силовых ключей для мощных источников электропитания

Представлены результаты макетирования, моделирования и конструирования топологии тестовой интегральной микросхемы драйвера "мягкой" коммутации силовых ключей Zero Voltage Switch, предназначенной для п...
20.06.2014

Низкотемпературное осаждение из газовой фазы при субатмосферном давлении слоев диоксида кремния окислением тетраэтоксисилана смесью озон-кислород для применения в субмикронных интегральных микросхемах (Часть 2)

Рассмотрены результаты исследований и разработки процессов низкотемпературного осаждения из газовой фазы при субатмосферном давлении слоёв диоксида кремния окислением тетраэтоксисилана смесью озон- ки...
20.03.2014

Источники вторичного электропитания с «мягкой» коммутацией силовых ключей

В настоящей монографии собраны результаты многолетней деятельности по исследованию и разработке AC/DC источников вторичного электропитания (ИВЭП), выполненных по технологии «мягкой» коммут...
20.05.2014

Borophosphosilicate Glass Thin Films in Electronics

This comprehensive monograph summarizes the 30-year studies of borophosphosilicate glass (BPSG) thin film used in electronic technologies, including the authors personal experience with the film depos...
15.07.2013

Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей (Часть 1)

Целью работы является разработка источников вторичного электропитания мощностью 2000 Вт, реализующих технологию «мягкой» коммутации Zero Voltage Switch (ZVS). Работа состоит из нескольких ...
15.09.2012

Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей (Часть 2)

Целью работы является разработка источников вторичного электропитания мощностью 2000 Вт с использованием технологии «мягкой коммутации» Zero Voltage Switch (ZVS). Работа состоит из несколь...
20.02.2013

Разработка источников вторичного электропитания, реализованных с использованием технологии «мягкой» коммутации ключей (Часть 3)

Целью работы является разработка источников вторичного электропитания мощностью 2000 Вт, реализующих технологию «мягкой коммутации» Zero Voltage Switch (ZVS). Работа состоит из нескольких ...
15.06.2013